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半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備制備工藝

更新時(shí)間:2012-05-02 點(diǎn)擊量:3042

    1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象

(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

    2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(

≥16MΩ.CM)(工藝)

    3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌

器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(工藝)

    半導(dǎo)體芯片清洗超純水設(shè)備出水水質(zhì)*符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、

10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標(biāo)準(zhǔn))、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

   公司設(shè)計(jì)、制造水處理凈化設(shè)備;主營:純水設(shè)備,去離子水設(shè)備,工業(yè)高純水設(shè)備,反滲透設(shè)備,軟化水設(shè)備,膠鹽水設(shè)備,除鹽水

設(shè)備,蒸餾水設(shè)備,工業(yè)高純水機(jī),凈水機(jī),離子交換設(shè)備,超純水設(shè)備,電子、醫(yī)藥、化工等行業(yè)工業(yè)純水設(shè)備,江、河、湖水凈化設(shè)

備等。

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